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收购单晶炉+宁波宁海plc编程回收维修/保养

发布:2024/5/5 1:46:51 来源:shxj365
收购单晶炉宁波宁海plc编程维修/保养99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长始时 ,用低速提拉,生长过程均速提拉的法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ,随着 IT产业的迅速发展 ,单晶硅生产市场需求剧,研制一种满足工艺要求,低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料的 一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 本文结合某单晶炉产品的研制 经折算后 (见下节式 ( 3) )。? 电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线

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炉子本体包括机架,坩埚驱动装置,主炉室,翻板阀,副炉室,籽晶提升机构,液压驱动装置,真空系统,冲氩气系统及水冷系统。机架由底座,上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。单晶炉的结构及基本操作的光伏产业凭借着自身的努力。然后从 该炉上端充入氩气。工作时,炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成,因此在不断充入氩气的同时,所述真空泵同时将一氧化硅,粉 尘杂质与氩气等的混合气体排出,其中,气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙,以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20。由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀,还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上,从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置,缩短了排气管路的长度,利 于提高排气效率。

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? 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,操作者观察窗口允许单晶直径测量范围大10”,氩气入口设置在炉盖的喉部。4、隔离阀座隔离阀座为双层水冷却结构,前圆后方,正前方设有一道圆门,可以通过圆门方便拆卸和更换籽晶夹头。圆门设有圆形观察窗。隔离阀座为隔离阀了及活动空间,隔离阀的作用是为籽晶或单晶进入副炉室的通道,同时可以维持上下炉室的局部压力和温度。隔离阀是翻板阀结构,阀板和阀体均是固定式双层结构,通水冷却。隔离阀座侧面设有两个籽晶位置检测窗口(激光),后部有一个氩气入口,可以实现快充氩气。5、副炉室副炉室为圆筒形腔体,双层结构,水冷却。副炉室上部前方设有一个圆形法兰,可以打用于腔体上部,法兰设有圆形观察窗。

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